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第526章 咱们工人有力量


工件台又一次加热硅片,给工件做了一次坚膜,加固已经保留的光刻胶,进一步清除不需要的那部分胶以及其他成分的残留物。

    坚膜完成之后,硅片被再次从头开始,开始了第二次的光刻流程,用的还是那块标准掩模。

    显影完成后,二次光刻的光刻胶被固化,多余部分被清除,硅片被送到了显微镜下。

    刚刚把硅片表面的清晰显微图像跳出来,马娟就语带欣喜的啊了一声。

    “师兄,有了有了,能看出来,精度好高啊!”

    马娟一边瞄着显微镜,一边嘴里喊着。

    对于套刻精度高这一点,高振东是有所预计的,决定套刻精度的主要就是工件台,而三轧厂的一帮老师傅大发神威,将工件台的定位精度搞到了1.5μm。

    而东北光学所的光学系统图形畸变只有1个μm不到,这两者结合起来,套刻精度绝对差不了。

    不过估计归估计,在没看到真正结果那一天,谁都不敢彻底把心放下来。

    听见马娟的话,高振东哈哈大笑:“来来来,我看看。”

    马娟从显微镜下让开,高振东把眼睛凑到显微镜的目镜外,显微镜里甚至能看到他自己的眼睫毛,但他现在明显没有闲心观察自己的睫毛是否好看,急着往视场里看去。

    显微镜里,两次光刻的痕迹非常明显,一条叠在另一条上面,重合度非常高。

    两次光刻的痕迹,两边各露出来一小部分,这部分的单边宽度,基本上就是套刻误差了,粗粗看去,目测连整个线宽的一小半都不到。

    “好!太好了!马娟,你们选取一些典型点位,要覆盖到整个硅片,马上做个比较全面的测量比较。”

    另外一个试验人员走了上来,和马娟一起,一边找点,一边测量,一边记录。

    时间的相对论在这里体现得淋漓尽致,马娟她们觉得时间过得很快,而等结果的高振东等人觉得时间过得太慢了。

    又快又慢的一段时间过去后,试验人员在计算机面前坐下来,开始将数据输入计算机,这种简单统计分析,他们都是直接在源代码里敲数据。

    处理算法的C代码早就写好了,现在他们就是在往一个数组里填数据而已。

    这种办法,好就好在处理算法可以随时根据需要修改。

    键盘声啪啪作响,现场人员的心情反而安定下来,从刚才他们测量中报的数来看,这个结果差不了。

    随着最后一个数据输入完毕,马娟启动了编译-运行指令。

    算法过于简单,没有带来任何调试上的麻烦,很快,屏幕上就跳出了一个数字。

    编过临时程序的人都懂,怎么简单怎么来,这个数字甚至不带任何单位。

    “1.97”。

    其实小数点后一位就够了,那个没有写出来的单位,是μm。

    2μm!

    虽然早有所料,但是当这个数字跳出来的时候,高振东还是哈哈大笑了起来。

    “哈哈哈……好!太好了!”

    这个套刻精度,已经超出了当前所需,PMOS套刻次数少,其实不严格的说,10μm的分辨率下,5μm的套刻精度都是够用的。

    现在,高振东可以直接宣布,我们的第一代PMOS工艺集成电路,线宽是10μm。

    这个线宽听起来不咋样,但是举个例子就知道它的用处了,DJS-59的原型,那片金色的C8008,它的工艺就是10μm-PMOS!那一小片芯片上,晶体管数量是6000+。

    而首个4Kbit(512Byte)的DRAM,工艺是8μm-NMOS,虽然是NMOS,但是并不意味着只有NMOS才能用于DRAM。PMOS和NMOS的最大区别是开关方向相反,而且NMOS开关速度比PMOS要快2.5倍左右。

    但是这是61年,PMOS慢点又不是不能用。

    可惜那两片芯片出现的时候,高振东还没法锁定兑换的能力,但是这没有关系,还是那句话,行业初期,主打一个简单凑合能用就行,设计的核心难度不大。

    DJS-59的晶体管的电路,其实基本上和C8008内是一模一样的,现在高振东要做的,就是把这个结构还原到光刻掩模上去。

    不过这是个力气活儿,高振东一个人是搞不成的,太浪费时间了,这个事情,可就落在京城工大这一届的部分大四学生头上了。

    原本高振东的考虑是光刻机不敢太乐观,初期预计是50μm左右,后来看到三轧厂的老师傅和东北光学所如此给力,才把SZ61XXX系列芯片头三片改为了20μm。

    现在扎扎实实的10μm有望,那不得乐死,就算得先教半年学生,再画上个一年两年的图,那也是一个字儿——值!

    而且有了这些基础,能搞的事情,可就多了,比如自动化人的最爱——单片机。

    不过不论是CPU化的DJS-59也好,还是单片机也好,都还需要时间,至少得等两样东西。

    ——集成电路工艺的真正成熟、芯片的完整设计。    

    尤其是单片机,这东西看起来和通用CPU差不多,但是在当前的运算速度之下,最好使用另外一个结构——哈佛结构。

    相对冯.诺依曼结构来说,这个结构的效率更高一些。

    这些都是后话,现在的当务之急,是把光刻机投入到集成电路工艺中去,尽快让整条集成电路的工艺成熟,至少先生产出一定数量的基础数字逻辑芯片,让大家用起来。

    别看这东西基本全手工,但是产量在这个年代来说并不低了,当然,和后世全自动光刻生产线没得比。

    按照一片逻辑电路芯片使用5mm*5mm硅片面积来粗略计算的话,一片130mm晶圆能生产出500枚芯片来。

    别看5*5这个面积很小,实际上在10μm工艺下,它几乎能生产类似74全系列的数字逻辑芯片了,大部分数字逻辑芯片最耗费硅片面积的部分,其实是它的线路引出的压接点。

    如果说CPU、单片机都还有那么一点遥远的话,那对于大部分常用数字逻辑电路来说,到了这个阶段,制约它的就主要是芯片的设计速度有多快了,毕竟数字逻辑电路这个家族实在是有些庞大。

    对于这个事情,高振东倒是早有安排。

    穿着防护服,又在超净室内,这让高振东不太方便宣布样机已经成功。

    看着玻璃窗外焦急的全体光刻机课题组同志,不忍他们久等的高振东灵机一动,拿起纸笔,写下了三个大字。

    “成功了!”

    高振东拿起这张纸,对着超净室内和外面的所有同志打着转展示了一圈。

    如果说超净室内的同志对于结果已有所预料而显得镇定一些的话,那窗外那批因为信息差而处于未知之中的同志,看见这三个字就欢呼雀跃起来。

    “成了成了!”

    “终于成功了!”

    “这个东西很重要吧,你看高总工都那么着紧。”

    “那可不,我估计这个啊,至少又是一个科技奖。”

    “没想到我车了一辈子的铁疙瘩,临老来,还能搞科学了。”

    “我也没想到啊,叮叮咣咣了一辈子,到现在我都不相信这个东西里面也有我的份儿。”

    “你这就是心太小了,你没听上面说嘛,咱们有的是力量。”

    “是是是,你心大,那特么你手抖个啥?几十年的老伙计了,谁还不知道谁啊。”

    外面的同志们说着笑着,不知道是谁起的头,慢慢的齐声唱起了一首歌来。

    “咱们工人有力量,嘿,咱们工人有力量……”

    “……”

    “改造得世界变呀么变了样,哎嘿!”

    “……”

    “为了求解放!哎~嘿!哎~嘿!”

    “……”

    歌声中有男有女,有老有少,有拿铁锤的,也有拿书本的,有的站在机器边,有的身处电脑前……

    简洁明快,铿锵有力的歌声在光刻机试制车间中响起,声震四壁。

    随着最后一声“嘿!”落下,所有的同志站在一起,看着高振东,热烈鼓起掌来。

    高振东满脸喜色,等大家稍微安静下来,他示意试验人员关机收尾,走进隔间脱下防护服。

    从超净室中走出来后,高振东安排了一位同志去张罗吃饭的事情,规矩不能破,哪怕只能吃糠咽菜,也得聚一顿,更别说现在比吃糠咽菜可强多了。

    然后他转身对马娟道:“马娟,你继续多做几组试验,看看稳定性怎么样。然后你和易师傅准备准备,这台设备接下来需要转场,你们整个组除了做好转场准备之外,还要做好准备,核心骨干要到相关的兄弟厂去支援一段时间。”

    接下来的事情,自然就是将设备迁移到1274厂去,在那里,作为关键节点,直接融入到整套的集成电路工艺中。

    在这个过程中,不论是制造、安装、调试、使用的课题组骨干成员,都得入驻1274厂,应对各种环境问题和突发状况,一直要到光刻机在1274厂的同志们手上用熟练了,才能撤回来。

    两人点头应是,高振东看向各位同志:“那啥,虽然大家都知道了,但我还是正式宣布一下吧,哈哈,GK-61接近式10μm光刻机,成功了!同志们辛苦了!现在先享受一下成功的喜悦吧,中午老规矩,老规矩,大家懂的。”

    (本章完)


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